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发明名称
摘要
申请公布号 FR2244259(B1) 申请公布日期 1977.09.23
申请号 FR19730033121 申请日期 1973.09.14
申请人 SIFFERT 发明人
分类号 H01L21/3063;H01L31/00;(IPC1-7):H01L31/18;G01T1/24 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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