| 发明名称 |
HIGHHFREQUENCY SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52128072(A) |
申请公布日期 |
1977.10.27 |
| 申请号 |
JP19760045670 |
申请日期 |
1976.04.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NARA AIICHIROU;KONDOU HISAO;SUMIYOSHI MASAO;IKEGAWA HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/28;H01L21/283;H01L29/47;H01L29/861 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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