LOT NUMBER MARKING METHOD TO WAFERS,申请号JP19760113147-传众专利搜索

发明名称	LOT NUMBER MARKING METHOD TO WAFERS
摘要
申请公布号	JPS5339060(A)	申请公布日期	1978.04.10
申请号	JP19760113147	申请日期	1976.09.22
申请人	HITACHI LTD	发明人	TAKEI ICHIROU;TANAKA KOUSUKE
分类号	H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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