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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5339861(A) 申请公布日期 1978.04.12
申请号 JP19760115081 申请日期 1976.09.24
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ANDOU SHIGEO;OKA KENJI
分类号 H05K5/06;H01L21/00;H01L21/326;H01L23/04;H01L23/06 主分类号 H05K5/06
代理机构 代理人
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