MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19760127809-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5353280(A)	申请公布日期	1978.05.15
申请号	JP19760127809	申请日期	1976.10.26
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	YONEZAWA TOSHIO;KAI SHIYUNICHI;ETSUNO YUTAKA;YASUJIMA TAKASHI;OKA YOSHITAMI
分类号	H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/306	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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