| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5353263(A) |
申请公布日期 |
1978.05.15 |
| 申请号 |
JP19760127808 |
申请日期 |
1976.10.26 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
YONEZAWA TOSHIO;ETSUNO YUTAKA;KAI SHIYUNICHI;YASUJIMA TAKASHI;OKA YOSHITAMI |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/3065;H01L21/314 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
