发明名称
摘要
申请公布号 JPS5322031(B2) 申请公布日期 1978.07.06
申请号 JP19740013312 申请日期 1974.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F1/00;G03F1/46;G03F1/54 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址