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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5322031(B2)
申请公布日期
1978.07.06
申请号
JP19740013312
申请日期
1974.02.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F1/00;G03F1/46;G03F1/54
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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