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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5327638(B2)
申请公布日期
1978.08.09
申请号
JP19740129015
申请日期
1974.11.11
申请人
发明人
分类号
H01J49/04;G01N27/62;G01N27/64;H01J49/14
主分类号
H01J49/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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