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经营范围
发明名称
AUTOMATIC WEIGHT LOADER
摘要
申请公布号
JPS5391668(A)
申请公布日期
1978.08.11
申请号
JP19770005930
申请日期
1977.01.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANAKA TAKAO
分类号
H01L21/24;H01L21/68
主分类号
H01L21/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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