发明名称 AUTOMATIC WEIGHT LOADER
摘要
申请公布号 JPS5391668(A) 申请公布日期 1978.08.11
申请号 JP19770005930 申请日期 1977.01.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA TAKAO
分类号 H01L21/24;H01L21/68 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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