| 摘要 |
본 발명은 마스크 척킹 구조에 의하여 마스크(M)를 기판(S)에 밀착고정시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리장치의 마스크 척킹 구조에 있어서, 기판(S)의 표면에 마스크(M)가 밀착된 상태를 유지하도록 기판(S)의 이면 쪽에서 마스크(M)에 대하여 자력을 가하는 자력발생수단(200)과, 상기 마스크(M)를 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 척킹되도록 상기 기판(S)의 표면방향을 따라서 상기 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키는 자력제어수단(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 척킹 구조를 제시함으로써 마스크(M) 및 기판(S)의 정렬 및 밀착 후에 자석에 의한 흡착고정시 마스크(M)에 대하여 기판(S)의 표면방향을 따라서 마스크(M)에 대한 자력을 변화시키면서 마스크(M)를 척킹함으로써 마스크척킹시 마스크(M) 및 기판(S)에 들뜸이 발생되는 것을 방지하여 정밀한 마스크 척킹이 가능하다. |
