| 摘要 |
【課題】電界式タイムグレーティング角変位センサを提供する。【解決手段】回転子と固定子を備え、回転子基板（１）表面は、円周に沿って等間隔の双正弦形電極（１−１）が配置されている。固定子基板（２）表面は、円周に沿って扇環形又は曲面矩形形電極（２−１）が均一に配置され、電極（２−１）底部には固定子導線を有し、電極（２−１）と導線の間には絶縁層を有し、電極（２−１）表面は絶縁保護層に覆われ、多層構造を形成する。回転子基板（１）と固定子基板（２）は、同軸上に取付けられ、一定間隔δだけ離間している。回転子基板（１）は軸心回りに相対的に回転する。固定子の１周期内の４つの電極は、それぞれ位相が０°、９０°、１８０°、２７０°の等振幅、等周波数の正弦曲線励磁電圧に連結し、回転子電極（１−１）上で生じる進行波信号Ｕｏと１経路の位相に固定した同周波数基準信号Ｕｒの位相を比較する。両経路の信号の位相差は内挿されたクロックパルスにより表示され、変換により角変位を得る。本変位センサは、構造が簡単で、消費電力が低く、要求される機械の取付け精度を低減し、３６０°の範囲内における任意で高精度な角変位測定を実現することができる。【選択図】図１（ａ） |
