发明名称 METHOD OF CALIBRATING SCANNING INTERFEROMETER WAVELENGTH SCALE
摘要
申请公布号 SU634092(A1) 申请公布日期 1978.11.25
申请号 SU19772506402 申请日期 1977.07.11
申请人 GOLOBORODKO VLADIMIR T,SU;SHULMAN EFIM S,SU 发明人 GOLOBORODKO VLADIMIR T,SU;SHULMAN EFIM S,SU
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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