Verfahren zur Herstellung einer Spiralfeder und entsprechende Spiralfeder.

摘要

Verfahren zur Herstellung einer Spiralfeder mit einem Substrat (200) und einer piezoelektrischen Beschichtung (207), wobei die benannte Beschichtung mittels Hochenergieimpulsmagnetronsputtern (HiPIMS) aufgebracht wird.