| 摘要 |
낮은 증기 압력의 액체 및 고체 전구체들을 위하여 이용가능한 개선된 ALD 시스템. ALD 시스템은 전구체 용기와, 전구체 펄스가 반응 챔버로 제거되는 동안에, 비활성 기체 펄스를 전구체 용기 내로 주입함으로써 전구체 용기 내의 전구체 증기 압력을 증가시키도록 구성된 비활성 기체 전달 엘리먼트들을 포함한다. 제어가능한 비활성 기체 흐름 밸브 및 흐름 제한기는 그 충전 레벨 아래로 전구체 용기 내로 이어지는 비활성 기체 입력 라인을 따라 배치된다. 증기 공간은 충전 레벨 위로 제공된다. ALD 펄스 밸브는 증기 공간과 반응 챔버 사이에서 연장되는 전구체 증기 라인을 따라 배치된다. 양자의 밸브들은 증기 공간으로부터 전구체 증기를 동시에 제거하고 충전 레벨 아래로 비활성 기체를 전구체 용기 내로 주입하기 위하여 동시에 펄스화된다. |
