| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURE OF EXPOSURE CORRECTION FILTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5422156(A) |
申请公布日期 |
1979.02.19 |
| 申请号 |
JP19770087640 |
申请日期 |
1977.07.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
KIHARA ATSUSHI;HIRABAYASHI KAZUAKI |
| 分类号 |
G03B27/32;G02B5/20;G02B5/22;G03B27/72;G05D25/00;H01J9/227 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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