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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5421164(A) 申请公布日期 1979.02.17
申请号 JP19770086523 申请日期 1977.07.18
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SEKIHARA HIROSHI;YANASE SABUROU
分类号 H01L21/322;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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