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发明名称 ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFUNGSEINRICHTUNG FUER VAKUUMAUFDAMPFANLAGEN
摘要
申请公布号 DE2849933(A1) 申请公布日期 1979.05.23
申请号 DE19782849933 申请日期 1978.11.17
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH 发明人 ZOLLINGER,ERICH
分类号 H01L21/285;H01J37/02;H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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