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发明名称 OHMIC CONTACT TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5487073(A) 申请公布日期 1979.07.11
申请号 JP19770155244 申请日期 1977.12.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAMATOSHI KUNIYOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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