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发明名称
SAMPLE PUTTINGGON STAND
摘要
申请公布号
JPS5495187(A)
申请公布日期
1979.07.27
申请号
JP19780003051
申请日期
1978.01.13
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
AYUSAWA TOSHIHIKO
分类号
H01J37/317;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/66;H01L21/68
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
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