发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54138368(A) 申请公布日期 1979.10.26
申请号 JP19780046264 申请日期 1978.04.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKASHIMA ISAMU
分类号 H01L21/761;H01L21/22;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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