| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUTEILEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2927227(A1) |
申请公布日期 |
1980.01.17 |
| 申请号 |
DE19792927227 |
申请日期 |
1979.07.05 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
YANASE,TOSHINOBU |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/8236;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/18 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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