发明名称 ION BEAM MONITORING
摘要
申请公布号 GB1560328(A) 申请公布日期 1980.02.06
申请号 GB19770050511 申请日期 1977.12.05
申请人 DU PONT DE NEMOURS & CO E I 发明人
分类号 H01J49/26;G01N27/62;H01J49/02;H01J49/16;H01J49/32;(IPC1-7):H01J49/26 主分类号 H01J49/26
代理机构 代理人
主权项
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