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发明名称 EVALUATING METHOD FOR CORROSION OF INTERCONNECTED LAYER IN AIRTIGHT ELECTRONIC PART
摘要
申请公布号 JPS5571039(A) 申请公布日期 1980.05.28
申请号 JP19780144171 申请日期 1978.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIWARI SHIYUUICHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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