发明名称 METHOD AND DEVICE FOR GROWING HIGH DISSOCIATION PRESSURE COMPOUND SINGLE CRYSTAL FOR SEMICONDUCTOR BY DOUBLEESEALED MELT PULLING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5580796(A) 申请公布日期 1980.06.18
申请号 JP19780152624 申请日期 1978.12.12
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 SUGA FUKUHIKO;TOMIZAWA KENJI;UMEHARA MIZUHIRO;ASAKUSA KAZUTOSHI;KISHIMOTO MIKIO
分类号 C30B27/02;C30B15/00;C30B29/40;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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