发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5588350(A) 申请公布日期 1980.07.04
申请号 JP19780159870 申请日期 1978.12.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKUMI MASUZOU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址