发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS55115328(A) |
申请公布日期 |
1980.09.05 |
申请号 |
JP19790021903 |
申请日期 |
1979.02.28 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
YASUDA SEIJI;GOTOU KENICHI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/22;H01L21/331;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|