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经营范围
发明名称
FORMING THIN LAYER PATTERN
摘要
申请公布号
JPS568185(A)
申请公布日期
1981.01.27
申请号
JP19790083809
申请日期
1979.06.29
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKAHASHI KIYOSHI
分类号
G09F9/30;G09F9/313;H01J11/22;H01J11/24;H01J11/34;H01J17/48
主分类号
G09F9/30
代理机构
代理人
主权项
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