发明名称 FORMING THIN LAYER PATTERN
摘要
申请公布号 JPS568185(A) 申请公布日期 1981.01.27
申请号 JP19790083809 申请日期 1979.06.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAHASHI KIYOSHI
分类号 G09F9/30;G09F9/313;H01J11/22;H01J11/24;H01J11/34;H01J17/48 主分类号 G09F9/30
代理机构 代理人
主权项
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