DIELECTRICALLY ISOLATED HIGH VOLTAGE SEMICONDUCTOR DEVICES.

摘要

Structure permettant d'obtenir des dispositifs a haute tension espaces etroitement dans des circuits integres. Les dispositifs sont formes dans des baquets ("tubs") monocristallins (11) dans un substrat polycristallin. Pour empecher le potentiel du substrat de provoquer la rupture des dispositifs, on incorpore entre les baquets monocristallins et le substrat polycristallin une couche semi-isolante (13) qui possede des etats de piegeage capables de prendre la charge provenant de la region monocristalline. La protection assuree par la couche semi-isolante permet de faire les regions superficielles du dispositif plus pres du substrat polycristallin et les baquets moins profonds.