Method for the detection and identification of material compositions and foreign substances entering a processing line with raw parts or work pieces.

摘要

Mittels Molekülfluoreszenzanregung von Rohteilen und Werkstücken soll in einer Fertigungslinie in den einzelnen Verfahrensschritten die jeweilige Materialzusammensetzung einer entsprechenden Probe (5) erfaßt und kontrolliert werden. Die Proben (5) werden hierzu jeweils mittels Laser (1) bestrahlt, um hierbei charakteristische, zeitabhängige Abklingraten der auftretenden Fluoreszenzbanden zu erfassen. Die mittels entsprechender Meßwertaufnehmer (9) erfaßten Abklingraten werden dann mit vorgegebenen Fluoreszenzbanden-Abklingraten innerhalb der Grenzen zulässiger Materialabweichung einschließlich der den Proben (5) beigemengten Schadstoffe oder Fremdatome (z. B. in Dotierungszonen bei Halbleiterchips) in Form gespeicherter Listen verglichen, um hieraus jeweils Rückschluß auf Zulässigkeit bzw. Nichtzulässigkeit von Materialzusammensetzungen bzw. -mitführungen der Proben (5) bei den jeweiligen Verfahrensstufen ziehen zu können.