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发明名称 DIGITAL MACHINE FOR CONTROL OF ELECTRON-BEAM MICROPROCESSING
摘要
申请公布号 SU840916(A2) 申请公布日期 1981.06.23
申请号 SU19782647037 申请日期 1978.07.19
申请人 INST KIBERNETIKI AN UK SSR 发明人 DERKACH VITALIJ P,SU;ZGUROVETS LEONID YA,SU;KLIMENTOVICH VALENTIN A,SU;KONDRATEV YURIJ P,SU
分类号 G05B15/02;(IPC1-7):G06F15/20 主分类号 G05B15/02
代理机构 代理人
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