| 摘要 |
본 발명은 내부에 진공이 형성되는 전자빔 방출기와 이격되어 대기 중에 시료를 마련하는 과정과, 상기 전자빔 방출기에서 전자빔이 통과하는 투과창을 점검하는 과정과, 상기 전자빔 방출기를 통하여 상기 시료를 향하여 전자빔을 방출하는 과정과, 상기 시료에 입사된 전자빔이 상기 시료에 충돌 후 시료로부터 방출되는 신호를 수집하는 과정과, 수집된 신호를 처리하는 과정을 포함하는 시료 관찰 방법으로서, 대기압 중에 위치하는 시료의 이미지 및 성분을 관찰 및 분석하는 동안 전자빔이 통과하는 투과창의 교환 여부를 정확하게 판단할 수 있는 시료 관찰 방법이 제시된다. |
