| 发明名称 |
SYSTEM ZUM ANTREIBEN EINES DREHBAREN GLIEDS IM VAKUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3114466(A1) |
申请公布日期 |
1982.03.11 |
| 申请号 |
DE19813114466 |
申请日期 |
1981.04.09 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
SHIBATA,ATSUSHI;KOIKE,TAKESHI |
| 分类号 |
H01J37/20;C23C14/48;C23C14/50;F16J15/16;F16J15/32;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/687;(IPC1-7):F16H57/00;B01J3/03;C30B31/22;F16J15/50;F16L5/02;H01J37/31 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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