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发明名称 DEVICE FOR VISUL INSPECTION OF MICROSTRUCTURES ON SEMICONDUCTOR PLATE
摘要
申请公布号 SU924778(A1) 申请公布日期 1982.04.30
申请号 SU19752164488 申请日期 1975.07.30
申请人 NIKULIN NIKOLAJ,SU;POYARKOV IGOR,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU 发明人 NIKULIN NIKOLAJ I,SU;POYARKOV IGOR I,SU;KOMAROV VALERIJ N,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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