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发明名称 RADIATION INDUCED DEPOSITION OF METAL ON SEMICONDUCTOR SURFACES
摘要
申请公布号 GB2097820(A) 申请公布日期 1982.11.10
申请号 GB19820012155 申请日期 1982.04.27
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人
分类号 H01L21/285;C23C18/14;H01L21/268;H01L21/288;(IPC1-7):C23C3/04 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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