发明名称 MASKING PORTIONS OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 GB2101161(A) 申请公布日期 1983.01.12
申请号 GB19820018652 申请日期 1982.06.28
申请人 * WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED 发明人 WILLIAM ALEXANDER * SPONSLER;WALTER RAYMOND * HOLBROOK
分类号 C23C14/04;G03F7/11;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):C25D5/02;H01L21/02 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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