| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHARFEINSTELLEN EINES ELEKTRONENMIKROSKOPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3226914(A1) |
申请公布日期 |
1983.02.03 |
| 申请号 |
DE19823226914 |
申请日期 |
1982.07.19 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL PRECISION INC. |
发明人 |
SHIROTA,KOHEI |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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