| 发明名称 |
METHOD OF FORMING DIELECTRIC ISOLATION REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5827342(A) |
申请公布日期 |
1983.02.18 |
| 申请号 |
JP19820081727 |
申请日期 |
1982.05.17 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
UIRIAMU EARON PURISUKIN;YAKOBU RAIZUMAN;JIYOSEFU FURANSHISU SHIEPAADO |
| 分类号 |
H01L21/70;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/70 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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