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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5883144(U) 申请公布日期 1983.06.06
申请号 JP19810179331U 申请日期 1981.12.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;B23Q3/15;H01L21/324;H01L21/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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