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发明名称
LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号
DE3312701(A1)
申请公布日期
1983.10.13
申请号
DE19833312701
申请日期
1983.04.08
申请人
WESTERN ELECTRIC CO.,INC.
发明人
CHEN,CHENG-HSUAN;CHUA ONG,EDITH;CHARLES PHILLIPS,JAMES;LIEN TAI,KING
分类号
H01L21/306;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/30
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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