发明名称 LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE3312701(A1) 申请公布日期 1983.10.13
申请号 DE19833312701 申请日期 1983.04.08
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 CHEN,CHENG-HSUAN;CHUA ONG,EDITH;CHARLES PHILLIPS,JAMES;LIEN TAI,KING
分类号 H01L21/306;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):G03F7/00;H01L21/30 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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