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发明名称 OFF-GAS PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5943396(A) 申请公布日期 1984.03.10
申请号 JP19820154799 申请日期 1982.09.06
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK;TOUSHIBA ENGINEERING KK 发明人 KANAZAWA JIYUNYA;MATSUOKA KOUJI
分类号 G21F9/02;G21F9/00 主分类号 G21F9/02
代理机构 代理人
主权项
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