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发明名称 AUTOMATISCHE VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN ODER PRUEFEN VON GERAETEN
摘要
申请公布号 DE3342491(A1) 申请公布日期 1984.05.30
申请号 DE19833342491 申请日期 1983.11.24
申请人 FERRANTI PLC,GATLEY 发明人 MALCOLM MORRISON,JOHN
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G05D3/12;G01M19/00;G01R31/26;G01R31/28;H01C17/24;H01L21/66;H01L21/68 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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