| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59112557(A) |
申请公布日期 |
1984.06.29 |
| 申请号 |
JP19830146791 |
申请日期 |
1983.08.12 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
JIEROOMU JIYON KUOMO;JIEEMUZU MATSUKERU EDOUIN HAABAA;GEIRII AREKISANDAA UOOTAASU |
| 分类号 |
C23F4/00;C23C14/46;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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