发明名称 光阻罩之低温还原法
摘要
申请公布号 TW060970 申请公布日期 1984.09.01
申请号 TW07114224 申请日期 1982.12.29
申请人 片片坚工业公司 发明人 佛瑞 马拉 恩斯柏格
分类号 G03F1/00;G03F9/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.于玻璃基质内制成彩色图案之方法, 包括下列之步惊:将产生彩色之阳离 子注入玻璃基质表面,将玻璃于还原 剂存在下加热以还原及粘聚产生彩色 之阳离子而于玻璃表面内产生一彩色 图案之诸步骤;其创新事项包含利用 加压纯氢作还原剂。2.根据上述请求专利部份第1. 项之方法 ,其中该产生彩色之阳离子系选自含 银、铜、金及铊之组中。3.根据上述请求专利部 份第1.项之方法 ,其中该将产生彩色之阳离子注入玻 璃基材之步骤系于100至200℃温度 下于电场存在下进行者。4.根据上述请求专利部 份第1.项之方法 ,其中该可产生彩色离子注入玻璃表 面至不多于一微米深度。5.根据上述请求专利部 份第1.项之方法 ,其中该还原及粘聚产生彩色之离子 的步骤系放大于十大气压纯氢存在下 及300℃以下温度下进行者。6.根据上述请求专利 部份第5.项之方法 ,其中该还原及粘聚产生彩色之离子 的步骤系放大于1000磅/平方寸纯 氢存在下及200℃以下温度下进行者 。7.根据上述请求专利部份第1.项之方法 制得之一制造物件,其中该彩色图案 相对于紮外线辐射之光密度至少为 2.0。8.一种制造物件,包含一透明玻璃基质 及位于该玻璃基质内产生彩色之金属 图案,其中该图案边缘之滚离区不大 于一微米宽。9.根据上述请求专利部份第8.项之物 件 ,其中该可产生彩色之金属为银,而 银自最接近之玻璃表面渗透之深度不 大于一微米。10.根据上述请求专利部份第9.项之 物件 ,其中该银相对于紮外线辐射之光密 度至少为2.0。11.于玻璃基质内制成彩色图案之方 法, 包括:将产生彩色之阳离子注入玻璃 基质表面,将玻璃于还原剂存在下加 热以还原及粘聚产生彩色阳离子而于 玻璃表面内产生一彩色图案之诸步骤 ;其改良部份包含于含有饱和加压氢 之惰性液体的压力容器内加热该玻璃 。12.根据上述请求专利部份第11.项之方法 ,其中该产生彩色之阳离子系选自包 含银、铜、金及铊之组中。13.根据上述请求专利 部份第11.项之方法 ,其中该将产生彩色之阳离子注入玻 璃基材之步骤系于100至200℃温度 下于电场存在下进行者。14.根据上述请求专利部 份第11.项之方法 ,其中该可产生彩色离子注入玻璃表 面至不多于一微米深度。15.根据上述请求专利部 份第11.项之方法 ,其中该还原及粘聚产生彩色之离子 的步骤系于300℃以下温度及约二至 十大气压压力下进行者。16.根据上述请求专利部 份第11.项之方法 ,其中该惰性液体系选自一组包含碳 氢化物及碳氟化物中,其蒸汽压于高 达约300℃温度下仍低于一大气压。17.根据上述请 求专利部份第11.项之方法 制得之制造物件。18.根据上述请求专利部份第14. 项之方法 制得之制造物件。19.根据上述请求专利部份第18. 项之物件 ,其中该产生彩色之离子为银。20.根据上述请求专 利部份第19.项之物件 ,其中该彩色图案相对于紮外线辐射 之光密度至少为2.0。
地址 美国宾夕凡尼亚州