METHOD OF FORMING A SENSING LAYER OF HYDROGEN SULFIDE HYDROGEN SULFIDE SENSOR AND METHOD OF DETECTING HYDROGEN SULFIDE USING THE HYDROGEN SULFIDE SENSOR

摘要

황화수소 센싱층의 제조 방법, 황화수소 센서 및 이를 이용한 황화수소의 감지 방법에서, 황화수소 센싱층의 제조 방법은 300 내지 700 ℃의 온도 범위 하에서, 아르곤 가스와 산소 가스의 분압 비율이 95:5 초과 97:3 이하인 상태에서 구리 타겟을 이용하여 스퍼터링 공정을 수행하는 단계를 포함한다.