| 摘要 |
본 발명은 기판건조용 기체를 분사하는 슬릿의 간격을 기판 위의 패턴막의 특성을 고려하여 간편하게 조정할 수 있도록 함으로써 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있는 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치를 제공함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈은, 기판을 향해 기판건조용 기체를 분사하는 몸체와, 상기 몸체에 기판의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 상기 기체를 분사하는 복수의 슬릿을 포함하되, 상기 몸체는 분해 및 조립이 가능한 3개 이상의 플레이트의 조립체로 이루어지고, 상기 슬릿은 상기 각 플레이트 사이에 형성되며, 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 플레이트의 변위량에 대응하여, 상기 복수의 슬릿 중 상기 기판의 이송방향의 전방에 위치하는 슬릿의 간격이 조정되는 것을 특징으로 한다. |
