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发明名称 METHOD OF MAKING ARTICLES USING GAS FUNCTIONALIZED PLASMA DEVELOPED LAYER
摘要
申请公布号 EP0136130(A3) 申请公布日期 1985.11.06
申请号 EP19840306149 申请日期 1984.09.07
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 STILLWAGON, LARRY EDWARD;TAYLOR, GARY NEWTON;VENKATESAN, THIRUMALAI NALLAN CHAKRAVARTHY;WOLF, THOMAS MICHAEL
分类号 H01L21/027;G03F7/26;G03F7/30;G03F7/36;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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