| 发明名称 |
WET PROCESS FOR DEVELOPING STYRENE POLYMER RESISTS FOR SUBMICRON LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2167686(A) |
申请公布日期 |
1986.06.04 |
| 申请号 |
GB19850027934 |
申请日期 |
1985.11.13 |
| 申请人 |
* HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
ROBERT G * BRAULT;LEROY J * MILLER |
| 分类号 |
G03F7/075;G03F7/32;(IPC1-7):G03C1/71 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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