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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6192049(U) 申请公布日期 1986.06.14
申请号 JP19840175656U 申请日期 1984.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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