| 摘要 |
【課題】曲げ加工済みの多様な曲率の曲面体に直接且つ精度よく遮光膜を形成する製造方法を提供する。【解決手段】湾曲可能なフィルム状フォトマスク７及び陰圧形成用フィルム２との間に、フォトレジストを塗布した曲面体８を挿入する挿入工程、吸引ポンプ３により、前記湾曲可能なフィルム状フォトマスク７及び前記陰圧形成用フィルム２で形成された空間の空気を吸引することで、前記曲面体８のフォトレジストを塗布した面に前記湾曲可能なフィルム状フォトマスク７を密着し、前記曲面体８の他方の面に前記陰圧形成用フィルム２を密着する密着工程、前記湾曲可能なフィルム状フォトマスク７を介して前記曲面体に塗布されているフォトレジストを露光する露光工程、露光した前記曲面体８を現像し、余分なフォトレジストを除去する現像工程、を含む、フォトレジストでパターンを形成した曲面体の製造方法。【選択図】図２ |
