清浄ノズルおよび洗浄装置

摘要

【課題】液体を適切に洗浄対象へ当てた上で回収することが容易となる清浄ノズルを提供する。【解決手段】供給された液体を用いて前方の洗浄対象を洗浄可能とする清浄ノズルであって、前方に凸となるように露出する曲面と、前記液体の吸引回収に用いられる吸引経路と、を備えるようにし、前記吸引経路の減圧により、前記液体が前記曲面と前記洗浄対象に面した流動経路を流れて、前記吸引経路へ吸引されるように形成された清浄ノズルとする。【選択図】図７